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관리번호 특허명 특허명 (영문) 주 발명자 발명부서 6T 기술분류 출원국가 출원번호 등록번호
P2005005-99-KR 진공 챔버 내부로의 시료 이송장치, 다기능 시료 홀더 및 시료 체인지 어셈블리 Sample transferring device into a vacuum chamber, multi-purpose sample holder, and sample change assembly 황찬국 빔라인부자외선운영팀 EC 대한민국 10-2005-0025426 10-0631748
P2007051-01-KR 단원자분자를 이용한 패터닝방법 Patterning of molecular layer on semiconductor surface by irradiation of photon, electron beam 황찬국 빔라인부자외선운영팀 BT 대한민국 10-2007-0097459 10-0888886
P2007102-01-KR 광/전자 조사에 의한 NH3, H2O 분자가 흡착된 반도체 표면 패터닝 Patterning of amine, hydroxyl layers on semiconductor surface by irradiation of photon, electron beam 황찬국 빔라인부자외선운영팀 EC 대한민국 10-2007-0107939 10-0921932
P2009017-01-KR 펜타신으로 구성된 극자왼선용 감광막 및 그의 형성 방법 EXTREME ULTRAVIOLET PHOTORESIST FILM WITH PENTACENE AND METHOD FOR FORMING THE SAME 황찬국 빔라인부자외선운영팀 NT 대한민국 10-2009-0019437 10-1067054
P2009110-01-KR 펜타신으로 구성되는 그라핀 보호막 및 그 형성 방법 PROTECTION LAYER OF GRAPHENE WITH PENTACENE AND METHOD OF FORMING THE SAME 황찬국 빔라인부자외선운영팀 IT 대한민국 10-2009-0059213
P2010214-02-KR 그래핀 피복 강판 및 이의 제조 방법 Graphene coated steel and method for preparing thereof 황찬국 빔라인부자외선운영팀 ET 대한민국 10-2011-0115302 10-1403989
P2010214-01-KR 그래핀 피복 강판 및 이의 제조 방법 Graphene coated steel and method for preparing thereof 황찬국 빔라인부자외선운영팀 ET 대한민국 10-2010-0111153
P2013053-01-KR 촉매 연소반응을 이용한 특정 모양의 그래핀 패터닝 방법 Intended Patterning Method of graphene by Using a Catalyst Combustion Reaction 임규욱 빔라인부자외선운영팀 NT 대한민국 10-2013-0021855 10-1400723
P2013015-01-KR 실리콘 산화물층의 제거방법과 적층체 Method of Removing Silicon Oxide Layer and Laminated Structure 임규욱 빔라인부자외선운영팀 NT 대한민국 10-2013-0015577 10-1377170